Extracting high-temperature stress–strain curves from a 1.2 μm silicon film using spherical nanoindentation

Schaffar, G. J. K., Tscharnuter, D., Imrich, P. J. & Maier-Kiener, V., 27 Dez. 2024, in: Thin solid films. 809.2025, 1 January, 10 S., 140597.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Sputter deposited silver niobate thin films: Pathway towards phase purity

Kölbl, L., Kobald, A., Griesser, T., Munnik, F. & Mitterer, C., 15 Sept. 2024, in: Thin solid films. 804.2024, 15 September, 9 S., 140505.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Synthesis and mechanical properties of co-deposited W nanoparticle and ZrCuAg metallic glass thin film composites

Huszar, E., Sharma, A., Székely, L., Raghavan, R., Putz, B., Edwards, T. E. J., Spolenak, R., Michler, J. & Pethö, L., 31 Mai 2023, in: Thin solid films. 773, 139822.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Influence of interlayers on the interfacial behavior of Ag films on polymer substrates

Cordill, M., Paulitsch, M., Katsarelis, C., Putz, B., Lassnig, A. & Kennedy, M. S., 2022, in: Thin solid films. 742, 139051.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Ion irradiation-induced localized stress relaxation in W thin film revealed by cross-sectional X-ray nanodiffraction

Hlushko, K., Mackova, A., Zalesak, J., Burghammer, M., Davydok, A., Krywka, C., Daniel, R., Keckes, J. & Todt, J., 7 Feb. 2021, in: Thin solid films. 722.2021, 31 March, 6 S., 138571.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Improved electro-mechanical reliability of flexible systems with alloyed Mo-Ta adhesion layers

Kreiml, P., Rausch, M., Terziyska, V., Köstenbauer, H., Winkler, J., Mitterer, C. & Cordill, M. J., 9 Jan. 2021, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Thin solid films. 720.2021, 28 February, 9 S., 138533.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films

Silva, F. C., Tunes, M. A., Sagás, J. C., Fontana, L. C., de Lima, N. B. & Schön, C. G., 30 Sept. 2020, in: Thin solid films. 710, S. 138268 1 S., 138268.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

The effect of B and C addition on microstructure and mechanical properties of TiN hard coatings grown by chemical vapor deposition

Kainz, C., Schalk, N., Tkadletz, M., Mitterer, C. & Czettl, C., 31 Okt. 2019, in: Thin solid films. 688.2019, 137283, 8 S., 137283.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Thermal expansion of magnetron sputtered TiC_xN_1-x coatings studied by high-temperature X-ray diffraction

Saringer, C., Kickinger, C., Munnik, F., Mitterer, C., Schalk, N. & Tkadletz, M., 31 Okt. 2019, in: Thin solid films. 688.2019, 31 October, 8 S., 137307.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Microstructure and stress gradients in TiW thin films characterized by 40 nm X-ray diffraction and transmission electron microscopy

Saghaeian, F., Keckes, J., Woehlert, S., Rosenthal, M., Reisinger, M. & Todt, J., 14 Okt. 2019, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Thin solid films. 691.2019, 1 December, 7 S., 137576.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Correlation of mechanical damage and electrical behavior of Al/Mo bilayers subjected to bending

Kreiml, P., Rausch, M., Terziyska, V. L., Köstenbauer, H., Winkler, J., Mitterer, C. & Cordill, M. J., 1 Okt. 2019, in: Thin solid films. 687.2019, 1 October, 9 S., 137480.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Crack arrest in thin metallic film stacks due to material- and residual stress inhomogeneities

Kozic, D., Gänser, H.-P., Brunner, R., Kiener, D., Antretter, T. & Kolednik, O., 31 Dez. 2018, in: Thin solid films. S. 14-22 9 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Recent developments in surface science and engineering, thin films, nanoscience, biomaterials, plasma science, and vacuum technology

Mozetic, M., Vesel, A., Primc, G., Eisenmenger-Sittner, C., Bauer, J., Eder, A., Schmid, G. H. S., Ruzic, D. N., Ahmed, Z., Barker, D., Douglass, K. O., Eckel, S., Fedchak, J. A., Hendricks, J., Klimov, N., Ricker, J., Scherschligt, J., Stone, J., Strouse, G. & Capan, I. &31 mehr, Buljan, M., Milosevic, S., Teichert, C., Cohen, S. R., Silva, A. G., Lehocky, M., Humpolicek, P., Rodriguez, C., Hernandez-Montelongo, J., Mercier, D., Manso-Silvan, M., Ceccone, G., Galtayries, A., Stana-Kleinschek, K., Petrov, I., Greene, J. E., Avila, J., Chen, C. Y., Caja-Munoz, B., Yi, H., Boury, A., Lorcy, S., Asensio, M. C., Bredin, J., Gans, T., O'Connell, D., Brendin, J., Reniers, F., Vincze, A., Anderle, M. & Montelius, L., 30 Aug. 2018, in: Thin solid films. 660, S. 120-160

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Übersichtsartikel › (peer-reviewed)

Effects of bias pulse frequencies on reactively sputter deposited NbO_x films

Lorenz, R., O`Sullivan, M., Fian, A., Sprenger, D., Lang, B. & Mitterer, C., 2018, in: Thin solid films. S. 335-342

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Electro-mechanical behavior of Al/Mo bilayers studied with in situ straining methods

Kreiml, P., Rausch, M., Terziyska, V., Köstenbauer, H., Winkler, J., Mitterer, C. & Cordill, M., 2018, in: Thin solid films. S. 131-136

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Microstructure and physical properties of sputter-deposited Cu-Mo thin films

Souli, I., Terziyska, V., Zechner, J. & Mitterer, C., 2018, in: Thin solid films. S. 301-308

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Microstructural influence on the cyclic electro-mechanical behaviour of ductile films on polymer substrates

Cordill, M., Glushko, O., Kleinbichler, A., Putz, B., Többens, D. & Kirchlechner, C., 17 Sept. 2017, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Thin solid films. 644.2017, 31. December, S. 166-172 7 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Effect of annealing on the size dependent deformation behavior of thin cobalt films on flexible substrates

Marx, V. M., Cordill, M., Többens, D., Kirchlechner, C. & Dehm, G., 10 Jan. 2017, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Thin solid films. 624.2017, 28 February, S. 34-40 7 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Advanced characterisation of thermo-mechanical fatigue mechanisms of different copper film systems for wafer metallizations

Bigl, S., Wurster, S., Cordill, M. & Kiener, D., 1 Aug. 2016, in: Thin solid films. 612.2016, 1 August, S. 153-164 12 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Structure and properties of sputter deposited crystalline and amorphous Cu-Ti films

Turnow, H., Wendrock, H., Menzel, S., Gemming, T. & Eckert, J., 1 Jan. 2016, in: Thin solid films. 598, S. 184-188 5 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Improvement of oxidation and corrosion resistance of Mo thin films by alloying with Ta

Hofer-Roblyek, A. M., Mori, G., Fian, A., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016, in: Thin solid films. 599, S. 1-6 6 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Influence of oxygen impurities on growth morphology, structure and mechanical properties of Ti–Al–N thin films

Riedl, H., Munnik, F., Hutter, H., Mendez Martin, F., Kolozsvari, S., Bartosik, M., Mayrhofer, P. H., Koller, C. & Rachbauer, R., 2016, in: Thin solid films. 603, S. 39-49 10 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

The electro-mechanical behavior of sputter- deposited Mo thin films on flexible substrates

Jörg, T., Cordill, M., Franz, R., Glushko, O., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016, in: Thin solid films. 606, S. 45-50 6 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Effect of wavelength modulation of arc evaporated Ti-Al-N/Ti-Al-V-N multilayer coatings on microstructure and mechanical/tribological properties

Pfeiler-Deutschmann, M., Mayrhofer, P. H., Chladil, K., Penoy, M., Michotte, C., Kathrein, M. & Mitterer, C., 1 Jan. 2015, in: Thin solid films. 581, S. 20-24 5 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Copper diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography

Mühlbacher, M., Mendez Martin, F., Sartory, B., Schalk, N., Keckes, J., Lu, J., Hultman, L. & Mitterer, C., 2015, in: Thin solid films. 574, S. 103-109

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Nanoindentation of chemical-vapor deposited Al₂O₃ hard coatings at elevated temperatures

Rebelo De Figueiredo, M., Abad, M. D., Harris, A. J., Czettl, C., Mitterer, C. & Hosemann, P., 2015, in: Thin solid films. 578, S. 20-24

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Resolving depth evolution of microstructure and hardness in sputtered CrN film

Zeilinger, A., Daniel, R., Schöberl, T., Stefenelli, M., Sartory, B., Keckes, J. & Mitterer, C., 2015, in: Thin solid films. 581.2015, April, S. 75-79

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Critical assessment of the determination of residual stress profiles in thin films by means of the ion beam layer removal method

Schöngrundner, R., Treml, R., Antretter, T., Kozic, D., Ecker, W. & Kiener, D., 2014, in: Thin solid films. S. 321-330

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Ductile film delamination from compliant substrates using hard overlayers

Cordill, M. J., Marx, V. M. & Kirchlechner, C., 2014, in: Thin solid films. 571, S. 302-307

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

High-rate deposition of AlTiN and related coatings with dense morphology by central cylindrical direct current magnetron sputtering

Jilek, Jr., M., Jilek,, M., Mendez Martin, F., Mayrhofer, P. H. & Veprek, S., 2014, in: Thin solid films. 556, S. 361-368

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Recovery of electrical resistance in copper films on polyethylene terephthalate subjected to a tensile strain

Glushko, O., Marx, V. M., Kirchlechner, C., Zizak, I. & Cordill, M. J., 2014, in: Thin solid films. 552, S. 141-145

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Seed layer stimulated growth of crystalline high Al containing (Al,Cr)2O3 coatings deposited by cathodic arc evaporation

Pohler, M., Franz, R., Ramm, J., Polcik, P. & Mitterer, C., 2014, in: Thin solid films. 550, S. 95-104

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

The effect of interlayer composition and thickness on the stabilization of cubic AlN in AlN/Ti-Al-N superlattices

Chawla, V., Holec, D. & Mayrhofer, P., 2014, in: Thin solid films. 565, S. 94-100

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Cross-sectional X-ray nanobeam diffraction analysis of a compositionally graded CrNx thin film

Bartosik, M., Daniel, R., Mitterer, C., Matko, I., Burghammer, M., Mayrhofer, P. H. & Keckes, J., 2013, in: Thin solid films. 542, S. 1-4

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Influence of Al and Si content on structure and mechanical properties of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

Tritremmel, C., Daniel, R., Lechthaler, M., Pocik, P. & Mitterer, C., 2013, in: Thin solid films. 534, S. 403-409

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Influence of AlN layers on mechanical properties and thermal stability of Cr-based nitride coatings

Schlögl, M., Paulitsch, J., Keckes, J. & Mayrhofer, P. H., 2013, in: Thin solid films. 531, S. 113-118

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Influence of CrN and AlN layer thicknesses on structure and mechanical properties of CrN/AlN superlattices

Schlögl, M., Mayer, B., Paulitsch, J. & Mayrhofer, P., 2013, in: Thin solid films. 545, S. 375-379

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Microstructure and thermal stability of corundum-type (Al0.5Cr0.5)2O3 solid solution coatings grown by cathodic arc evaporation

Edlmayr, V., Pohler, M., Letovsky-Papst, I. & Mitterer, C., 2013, in: Thin solid films. 534, S. 373-379

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Self-organized periodic soft-hard nanolamellae in polycrystalline TiAlN thin films

Keckes, J., Daniel, R., Mitterer, C., Matko, I., Sartory, B., Köpf, A., Weißenbacher, R. & Pitonak, R., 2013, in: Thin solid films. 545, S. 29-32

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Transmission electron microscopy characterization of CrN films on MgO(001)

Harzer, T. P., Daniel, R., Mitterer, C., Dehm, G. & Zhang, Z. L., 2013, in: Thin solid films. 545, S. 154-160 7 S.

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Patterned immobilisation of silicon dioxide nanoparticles on the surface of a photosensitive polymer

Muhr, N., Kern, W. & Grießer, T., 2012, in: Thin solid films. 520, S. 1789-1793

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Self-assembling (nano-)wrinkling topography formation in low-temperature vacuum deposition on soft polymer surfaces

Lackner, J., Waldhauser, W., Hartmann, P., Miskovics, O., Schmied, F., Teichert, C. & Schöberl, T., 2012, in: Thin solid films. 520, S. 2833-2840

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Influence of Zr on structure, mechanical and thermal properties of Ti-Al-N

Chen, L., Holec, D., Du, Y. & Mayrhofer, P. H., 2011, in: Thin solid films. 519, S. 5503-5510

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Oxidation and diffusion study on AlCrVN hard coatings using oxygen isotopes 16O and 18O

Franz, R., Schnöller, J., Hutter, H. & Mitterer, C., 2011, in: Thin solid films. 519, S. 3974-3981

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Low Friction CrN/TiN multilayer coatings prepared by a hybrid high power impulse magnetron sputtering/DC magnetron sputtering deposition technique

Paulitsch, J., Schenkel, M., Schintlmeister, A., Hutter, H. & Mayrhofer, P. H., 2010, in: Thin solid films. 518, S. 5553-5557

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers

Matoy, K., Schönherr, H., Detzel, T. & Dehm, G., 2010, in: Thin solid films. 518, S. 5796-5801

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Morphology characterization and friction coefficient determination of sputtered V2O5 films

Klünsner, T., Shen, Q., Hlawacek, G., Teichert, C., Fateh, N., Fontalvo, G. & Mitterer, C., 2010, in: Thin solid films. 519, S. 1416-1420

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Residual stresses and thermal fatigue in CrN hard coatings characterized by high-temperature synchrotron X-ray diffraction

Kirchlechner, C., Martinschitz, K. J., Daniel, R., Klaus, M., Genzel, C., Mitterer, C. & Keckes, J., 2010, in: Thin solid films. 518, 8, S. 2090-2096

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Structural characterization of a Cu/MgO(001) interface using C S-corrected HRTEM

Cazottes, S., Zhang, Z. L., Daniel, R., Chawla, J. S., Gall, D. & Dehm, G., 2010, in: Thin solid films.

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