Cross-sectional X-ray nanobeam diffraction analysis of a compositionally graded CrNx thin film

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Autoren

Titel in Übersetzung	Cross-sectional X-ray nanobeam diffraction analysis of a compositionally graded CrNx thin film
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1-4
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	542
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.05.102
Status	Veröffentlicht - 2013