Influence of Al and Si content on structure and mechanical properties of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Influence of Al and Si content on structure and mechanical properties of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	403-409
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	534
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.03.017
Status	Veröffentlicht - 2013