Influence of CrN and AlN layer thicknesses on structure and mechanical properties of CrN/AlN superlattices

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Titel in Übersetzung	Influence of CrN and AlN layer thicknesses on structure and mechanical properties of CrN/AlN superlattices
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	375-379
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	545
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.07.026
Status	Veröffentlicht - 2013