Influence of oxygen impurities on growth morphology, structure and mechanical properties of Ti–Al–N thin films
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- Technische Universität Wien
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 39-49 |
| Seitenumfang | 10 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| Jahrgang | 603 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2016 |
