Effects of bias pulse frequencies on reactively sputter deposited NbOx films
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Plansee SE, Reutte
- Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH, Weiz
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 335-342 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2018 |
