Effects of bias pulse frequencies on reactively sputter deposited NbO_x films

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

M. O`Sullivan
Alexander Fian
D. Sprenger
Bernhard Lang

Organisationseinheiten

Lehrstuhl für Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme (425)

Externe Organisationseinheiten

Plansee SE, Reutte
Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH, Weiz

Details

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	335-342
Fachzeitschrift	Thin solid films
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2018.06.040
Status	Veröffentlicht - 2018

Universität Leoben/Forschungsportal