A comparative study on NbO_x films reactively sputtered from sinterd and cold gas sprayed targets

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Autoren

M. O`Sullivan
Alexander Fian
D. Sprenger
Bernhard Lang

Organisationseinheiten

Lehrstuhl für Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme (425)

Externe Organisationseinheiten

Joanneum Research Forschungsgesellschaft mbH, Weiz
Plansee SE, Reutte

Details

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1157-1162
Fachzeitschrift	Applied surface science
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.12.165
Status	Veröffentlicht - 2018

Universität Leoben/Forschungsportal