The effect of interlayer composition and thickness on the stabilization of cubic AlN in AlN/Ti-Al-N superlattices

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Autoren

Titel in Übersetzung	The effect of interlayer composition and thickness on the stabilization of cubic AlN in AlN/Ti-Al-N superlattices
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	94-100
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	565
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.06.051
Status	Veröffentlicht - 2014