Resolving depth evolution of microstructure and hardness in sputtered CrN film

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Erich-Schmid-Institut für Materialwissenschaft der Österreichischen Akademie der Wissenschaften
Materials Center Leoben Forschungs GmbH

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	75-79
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	581.2015
Ausgabenummer	April
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.10.106 https://doi.org/dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2014.10.106
Status	Veröffentlicht - 2015