Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 5796-5801 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| Jahrgang | 518 |
| Status | Veröffentlicht - 2010 |
