Copper diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungCopper diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)103-109
FachzeitschriftThin solid films
Jahrgang574
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2015