Copper diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
Titel in Übersetzung | Copper diffusion into single-crystalline TiN studied by transmission electron microscopy and atom probe tomography |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 103-109 |
Fachzeitschrift | Thin solid films |
Jahrgang | 574 |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2015 |