Seed layer stimulated growth of crystalline high Al containing (Al,Cr)2O3 coatings deposited by cathodic arc evaporation

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Autoren

Titel in Übersetzung	Seed layer stimulated growth of crystalline high Al containing (Al,Cr)2O3 coatings deposited by cathodic arc evaporation
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	95-104
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	550
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.10.125
Status	Veröffentlicht - 2014