Cathodic arc deposition of (Al,Cr)2O3: Macroparticles and cathode surface modifications

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Autoren

Titel in Übersetzung	Cathodic arc deposition of (Al,Cr)2O3: Macroparticles and cathode surface modifications
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1454-1460
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	206
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.09.028
Status	Veröffentlicht - 2011