Low Friction CrN/TiN multilayer coatings prepared by a hybrid high power impulse magnetron sputtering/DC magnetron sputtering deposition technique

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Autoren

Titel in Übersetzung	Low Friction CrN/TiN multilayer coatings prepared by a hybrid high power impulse magnetron sputtering/DC magnetron sputtering deposition technique
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	5553-5557
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	518
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.05.061
Status	Veröffentlicht - 2010