Influence of Si on the target oxide poisoning during reactive arc evaporation of (Al,Cr)2O3 coatings

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Autoren

Titel in Übersetzung	Influence of Si on the target oxide poisoning during reactive arc evaporation of (Al,Cr)2O3 coatings
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	29-32
Fachzeitschrift	Vacuum
Jahrgang	100
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2013.06.008
Status	Veröffentlicht - 2014