High-rate deposition of AlTiN and related coatings with dense morphology by central cylindrical direct current magnetron sputtering

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Titel in Übersetzung	High-rate deposition of AlTiN and related coatings with dense morphology by central cylindrical direct current magnetron sputtering
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	361-368
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	556
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.01.059
Status	Veröffentlicht - 2014