Mechanical properties of homogeneous and nitrogen graded TiN thin films
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 138268 |
| Seiten (von - bis) | 138268 |
| Seitenumfang | 1 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| Jahrgang | 710 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 30 Sept. 2020 |
