Journal of vacuum science & technology / A (JVST), ‎0734-2101

Fachzeitschrift: Zeitschrift

ISSNs0734-2101
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Publikationen

  1. 2024
  2. Veröffentlicht

    Lead-free dielectric thin films: Synthesis of Ag(Nb1−xTax)O3 via reactive dc magnetron sputtering

    Kölbl, L., Mehrabi, M., Griesser, T., Munnik, F. & Mitterer, C., 6 Dez. 2024, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 43.2024, 1, 11 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. Veröffentlicht

    In situ and ex situ quantification of nanoparticle fluxes in magnetron sputter inert gas condensation: A Cu nanoparticle case study

    Knabl, F., Bandl, C., Griesser, T. & Mitterer, C., 17 Jan. 2024, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 42.2024, 2, 10 S., 023201.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  4. Veröffentlicht

    Micromechanical Properties of Micro- and Nanocrystalline CVD Diamond Thin Films with Gradient Microstructures and Stresses

    Meindlhumer, M., Ziegelwanger, T., Grau, J., Sternschulte, H., Sztucki, M., Steinmüller-Nethl, D. & Keckes, J., 12 Jan. 2024, in: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 42.2024, 2, 12 S., 023401.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  5. 2023
  6. Veröffentlicht

    Link between cracking mechanisms of trilayer films on flexible substrates and electro-mechanical reliability under biaxial loading

    Altaf Husain, S., Kreiml, P., Renault, P.-O., Mitterer, C., Cordill, M. J. & Faurie, D., 14 März 2023, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 41.2023, 3, 8 S., 033403.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  7. Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.

    Oxidation behavior of a cathodic arc evaporated Cr0.69Ta0.20B0.11N coating

    Kainz, C., Letofsky-Papst, I., Saringer, C., Krüger, H., Stark, A., Schell, N., Pohler, M. & Czettl, C., 1 Feb. 2023, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 41.2023, 2, 10 S., 023102.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  8. 2020
  9. Veröffentlicht

    Structure, stress, and mechanical properties of Mo-Al-N thin films deposited by dc reactive magnetron cosputtering: Role of point defects

    Angay, F., Löfler, L., Tetard, F., Eyidi, D., Djemia, P., Holec, D. & Abadias, G., 1 Sept. 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 5, S. ´ 14 S., 053401.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  10. Veröffentlicht

    Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target

    Rausch, M., Mraz, S., Kreiml, P., Cordill, M. J., Schneider, J. M., Winkler, J. & Mitterer, C., 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 2, S. 1-10 023401.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  11. 2018
  12. Veröffentlicht

    Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature

    Pilz, J., Perrotta, A., Christian, P., Tazreiter, M., Resel, R., Leising, G., Griesser, T. & Coclite, A. M., 1 Jan. 2018, in: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 36, 1, 01A109.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  13. Veröffentlicht

    Electromechanical properties of cathodic arc deposited high entropy alloy thin films on polymer substrates

    Xia, A., Glushko, O., Cordill, M. & Franz, R., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 010601-1-010601-4

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  14. Veröffentlicht

    Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings

    Saringer, C., Oberroither, C., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, 2

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  15. Veröffentlicht

    Oxidation and wet etching behavior of sputtered Mo-Ti-Al films

    Jörg, T., Hofer-Roblyek, A. M., Köstenbauer, H., Winkler, J. & Mitterer, C., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, S. 021513-1-021513-5

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  16. 2017
  17. Veröffentlicht

    Tailoring age hardening of Ti1-xAlxN by Ta alloying

    Großmann, B., Jamnig, A., Schalk, N., Czettl, C., Pohler, M. & Mitterer, C., 13 Sept. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 6, 6 S., 060604.

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  18. Veröffentlicht

    Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets

    Lorenz, R., O'Sullivan, M., Sprenger, D., Lang, B. & Mitterer, C., 18 Mai 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 6 S., 041504.

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  19. Veröffentlicht

    Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 4 Jan. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 2, 8 S., 021504.

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  20. 2016
  21. Veröffentlicht

    Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN

    Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34.2016, 4, 8 S., 041517.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  22. Veröffentlicht

    Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

    Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P., 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.

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  23. 2012
  24. Veröffentlicht

    Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

    Tritremmel, C., Daniel, R., Mitterer, C., Mayrhofer, P. H., Lechthaler, M. & Polcik, P., 2012, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 30, S. 061501-1-061501-6

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  25. 2011
  26. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., Juli 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 29, 4, 041506.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  27. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 0415061-0415068

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  28. 2010
  29. Veröffentlicht

    Investigation on structure and properties of arc-evaporated HfAIN hard coatings

    Franz, R., Mitterer, C., Lechthaler, M. & Polzer, C., 2010, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 528-535

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  30. 2009
  31. Veröffentlicht

    On the effect of Ta on improved oxidation resistance of Ti-Al-Ta-N coatings

    Pfeiler, M., Scheu, C., Hutter, H., Schnöller, J., Michotte, C., Mitterer, C. & Kathrein, M., 2009, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 27, S. 554-560

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  32. 2008
  33. Veröffentlicht

    Oxidation and diffusion processes during annealing of AlCrVN hard coatings

    Franz, R., Neidhardt, J., Mitterer, C., Schaffer, B., Hutter, H., Kaindl, R., Sartory, B., Tessadri, R., Lechthaler, M. & Polcik, P., 2008, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A26, S. 302-308

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  34. Veröffentlicht

    Thermal stability and thermo-mechanical properties of magnetron sputtered Cr-Al-Y-N coatings

    Rovere, F. & Mayrhofer, P. H., 2008, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A26, S. 29-35

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  35. 2007
  36. Veröffentlicht

    Beyond b-C3-N4-Fullerene-like carbon nitride: A promising coating material

    Neidhardt, J. & Hultman, L., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A 25, S. 633-644

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  37. Veröffentlicht

    Impact of Yttrium on structure and mechanical properties of Cr-Al-N thin films

    Rovere, F. & Mayrhofer, P. H., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 25, S. 1336-1340

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  38. Veröffentlicht

    Oxidation of arc evaporated Al1-xCrxN coatings

    Reiter, A., Mitterer, C. & Sartory, B., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A 25, S. 711-720

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  39. Veröffentlicht

    Thermal stability of sputtered intermetallic Al-Au coatings

    Moser, M., Mayrhofer, P. H., Rainforth, W. M. & Ross, I. M., 2007, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 1402-1406

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  40. 2006
  41. Veröffentlicht

    Para-Sexiphenyl Thin Films Grown by Hot Wall Epitaxy on KCI(001)substrates

    Andreev, A., Montaigne, A., Hlawacek, G., Sitter, H. & Teichert, C., 2006, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 24, S. 1660-1663

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