Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 061501-1-061501-6 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 30 |
| Status | Veröffentlicht - 2012 |
