Journal of vacuum science & technology / A (JVST), ‎0734-2101

Fachzeitschrift: Zeitschrift

ISSNs0734-2101
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Publikationen

  1. 2024
  2. Veröffentlicht

    Lead-free dielectric thin films: Synthesis of Ag(Nb1−xTax)O3 via reactive dc magnetron sputtering

    Kölbl, L., Mehrabi, M., Griesser, T., Munnik, F. & Mitterer, C., 6 Dez. 2024, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 43.2024, 1, 11 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. Veröffentlicht

    In situ and ex situ quantification of nanoparticle fluxes in magnetron sputter inert gas condensation: A Cu nanoparticle case study

    Knabl, F., Bandl, C., Griesser, T. & Mitterer, C., 17 Jan. 2024, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 42.2024, 2, 10 S., 023201.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  4. Veröffentlicht

    Micromechanical Properties of Micro- and Nanocrystalline CVD Diamond Thin Films with Gradient Microstructures and Stresses

    Meindlhumer, M., Ziegelwanger, T., Grau, J., Sternschulte, H., Sztucki, M., Steinmüller-Nethl, D. & Keckes, J., 12 Jan. 2024, in: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 42.2024, 2, 12 S., 023401.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  5. 2023
  6. Veröffentlicht

    Link between cracking mechanisms of trilayer films on flexible substrates and electro-mechanical reliability under biaxial loading

    Altaf Husain, S., Kreiml, P., Renault, P-O., Mitterer, C., Cordill, M. J. & Faurie, D., 14 März 2023, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 41.2023, 3, 8 S., 033403.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  7. Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.

    Oxidation behavior of a cathodic arc evaporated Cr0.69Ta0.20B0.11N coating

    Kainz, C., Letofsky-Papst, I., Saringer, C., Krüger, H., Stark, A., Schell, N., Pohler, M. & Czettl, C., 1 Feb. 2023, (Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung.) in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 41.2023, 2, 10 S., 023102.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  8. 2020
  9. Veröffentlicht

    Structure, stress, and mechanical properties of Mo-Al-N thin films deposited by dc reactive magnetron cosputtering: Role of point defects

    Angay, F., Löfler, L., Tetard, F., Eyidi, D., Djemia, P., Holec, D. & Abadias, G., 1 Sept. 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 5, S. ´ 14 S., 053401.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  10. Veröffentlicht

    Angular resolved mass-energy analysis of species emitted from a dc magnetron sputtered NiW-target

    Rausch, M., Mraz, S., Kreiml, P., Cordill, M. J., Schneider, J. M., Winkler, J. & Mitterer, C., 2020, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 38.2020, 2, S. 1-10 023401.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  11. 2018
  12. Veröffentlicht

    Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature

    Pilz, J., Perrotta, A., Christian, P., Tazreiter, M., Resel, R., Leising, G., Griesser, T. & Coclite, A. M., 1 Jan. 2018, in: Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 36, 1, 01A109.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  13. Veröffentlicht

    Electromechanical properties of cathodic arc deposited high entropy alloy thin films on polymer substrates

    Xia, A., Glushko, O., Cordill, M. & Franz, R., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 010601-1-010601-4

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  14. Veröffentlicht

    Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings

    Saringer, C., Oberroither, C., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2018, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 36, 2

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

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