Influence of discharge power and bias potential on microstructure and hardness of sputtered amorphous carbon coatings
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- MIBA High Tech Coatings
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 36 |
| Ausgabenummer | 2 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2018 |
