Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings
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Details
| Titel in Übersetzung | Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 0415061-0415068 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Status | Veröffentlicht - 2011 |
