Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
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Autoren
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Externe Organisationseinheiten
- Johannes Kepler Universität Linz
- Plansee SE, Reutte
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 021504 |
| Seitenumfang | 8 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 35.2017 |
| Ausgabenummer | 2 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 4 Jan. 2017 |
