Tuning of material properties of ZnO thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition at room temperature

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Aufsatznummer	01A109
Fachzeitschrift	Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
Jahrgang	36
Ausgabenummer	1
DOIs	https://doi.org/10.1116/1.5003334
Status	Veröffentlicht - 1 Jan. 2018