Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1-8
Seitenumfang	8
Fachzeitschrift	Journal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang	Vol. 34
Ausgabenummer	No. 2
DOIs	https://doi.org/10.1116/1.4941409
Status	Veröffentlicht - 2016