Investigation on structure and properties of arc-evaporated HfAIN hard coatings

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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Details

Titel in ÜbersetzungInvestigation on structure and properties of arc-evaporated HfAIN hard coatings
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)528-535
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
StatusVeröffentlicht - 2010