Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings
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- Ludwig-Maximilians-University
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 041506 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 29 |
| Ausgabenummer | 4 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - Juli 2011 |
