Impact of Yttrium on structure and mechanical properties of Cr-Al-N thin films

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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Details

Titel in ÜbersetzungImpact of Yttrium on structure and mechanical properties of Cr-Al-N thin films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1336-1340
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang25
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2007