Impact of Yttrium on structure and mechanical properties of Cr-Al-N thin films
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
Titel in Übersetzung | Impact of Yttrium on structure and mechanical properties of Cr-Al-N thin films |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 1336-1340 |
Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
Jahrgang | 25 |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2007 |