Thermal stability of sputtered intermetallic Al-Au coatings
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Details
| Titel in Übersetzung | Thermal stability of sputtered intermetallic Al-Au coatings |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 1402-1406 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2007 |
