Oxidation and wet etching behavior of sputtered Mo-Ti-Al films
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Externe Organisationseinheiten
- Plansee SE, Reutte
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 021513-1-021513-5 |
| Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
| Jahrgang | 36 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2018 |
