Thin solid films, 0040-6090
Fachzeitschrift: Zeitschrift
ISSNs | 0040-6090 |
---|
Publikationen
- 2010
- Veröffentlicht
Structure and properties of high power impulse magnetron sputtering and DC magnetron sputtering CrN and TiN films deposited in an industrial scale unit
Paulitsch, J., Schenkel, M., Zufraß, T., Mayrhofer, P. H. & Münz, W-D., 2010, in: Thin solid films. 518, S. 5558-5564Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Surface planarization and masked ion-beam structuring of YBa2Cu3O7 thin films
Pedarnig, J. D., Siraj, K., Bodea, M. A., Puica, I., Lang, W., Kolarova, R., Bauer, P., Haselgrübler, K., Hasenfuss, C., Beinik, I. & Teichert, C., 2010, in: Thin solid films. 518, S. 7075-7080Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2009
- Veröffentlicht
A comparative micro-cantilever study of the mechanical behavior of silicon based passivation films
Matoy, K., Schönherr, H., Detzel, T., Schöberl, T., Pippan, R., Motz, C. & Dehm, G., 2009, in: Thin solid films. 518, S. 247-256Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Can micro-compression testing provide stress-strain data for thin films? A comparative study using Cu, VN, TiN and W coatings
Dehm, G., Wörgötter, H-P., Cazottes, S., Purswani, J. M., Gall, D., Mitterer, C. & Kiener, D., 2009, in: Thin solid films. 518, S. 1517-1521Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Compositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N
Chen, L., Moser, M., Du, Y. & Mayrhofer, P. H., 2009, in: Thin solid films. S. 6635-6641Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Structural and mechanical properties of diamond-like carbon films deposited by an anode layer source
Kahn, M., Cekada, M., Schoeberl, T., Berghauser, R., Mitterer, C., Bauer, C., Waldhauser, W. & Brandstätter, E., 2009, in: Thin solid films. 517, S. 6502-6507Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2008
- Veröffentlicht
Epitaxial growth of Al-Cr-N thin films on MgO (111)
Willmann, H., Beckers, M., Birch, J., Mayrhofer, P. H., Mitterer, C. & Hultman, L., 2008, in: Thin solid films. S. 598-602Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Interface structure of epitaxial (111) VN films on (111) MgO substrates
Lazar, P., Rashkova, B., Redinger, J., Podloucky, R., Mitterer, C., Scheu, C. & Dehm, G., 2008, in: Thin solid films. 517, S. 1177-1181Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Intrinsic stresses and stress relaxation in TiN/Ag multilayer coatings during thermal cycling
Köstenbauer, H., Fontalvo, G., Keckes, J. & Mitterer, C., 2008, in: Thin solid films. 516, S. 1920-1924Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Ion-assisted MBE for misfit-dislocation templates serving ordered growth of SiGe islands
Lyutovich, K., Oehme, M., Werner, J., Bahouchi, B., Kasper, E., Hofer, C. & Teichert, C., 2008, in: Thin solid films. 517, S. 20-22Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)