A comparative micro-cantilever study of the mechanical behavior of silicon based passivation films
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Details
| Titel in Übersetzung | A comparative micro-cantilever study of the mechanical behavior of silicon based passivation films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 247-256 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| Jahrgang | 518 |
| Status | Veröffentlicht - 2009 |
