Structure and properties of high power impulse magnetron sputtering and DC magnetron sputtering CrN and TiN films deposited in an industrial scale unit

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Autoren

Titel in Übersetzung	Structure and properties of high power impulse magnetron sputtering and DC magnetron sputtering CrN and TiN films deposited in an industrial scale unit
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	5558-5564
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	518
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.05.062
Status	Veröffentlicht - 2010