Intrinsic stresses and stress relaxation in TiN/Ag multilayer coatings during thermal cycling

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Autoren

Titel in Übersetzung	Intrinsic stresses and stress relaxation in TiN/Ag multilayer coatings during thermal cycling
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1920-1924
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	516
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2007.08.059
Status	Veröffentlicht - 2008