Thin solid films, ‎0040-6090

Fachzeitschrift: Zeitschrift

ISSNs	0040-6090

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Publikationen

1996
Veröffentlicht
Studies on the morphology of Al2O3 thin films grown by Atomic Layer Epitaxy
Prohaska, T., Ritala, M., Saloniemi, H., Leskelä, M. & FRIEDBACHER, G., 1996, in: Thin solid films. S. 54-58
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
1994
Veröffentlicht
Development of crystallinity and morphology in hafnium dioxide thin films grown by Atomic Layer Epitaxy
Prohaska, T., Ritala, M., Leskelä, M., Niinistö, L., FRIEDBACHER, G. & GRASSERBAUER, M., 1994, in: Thin solid films. S. 72-80
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Veröffentlicht
Surface roughness reduction in Atomic Layer Epitaxy growth of titanium dioxide thin films
Prohaska, T., Ritala, M., Leskelä, M., Niinistö, L., FRIEDBACHER, G. & GRASSERBAUER, M., 1994, in: Thin solid films. S. 155-162
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

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