Thin solid films, 0040-6090
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| ISSNs | 0040-6090 |
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81 - 81 von 81Seitengröße: 10
Publikationen
- 1994
- Veröffentlicht
Surface roughness reduction in Atomic Layer Epitaxy growth of titanium dioxide thin films
Prohaska, T., Ritala, M., Leskelä, M., Niinistö, L., FRIEDBACHER, G. & GRASSERBAUER, M., 1994, in: Thin solid films. S. 155-162Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
