Development of crystallinity and morphology in hafnium dioxide thin films grown by Atomic Layer Epitaxy
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Seiten (von - bis) | 72-80 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| Status | Veröffentlicht - 1994 |
