Surface planarization and masked ion-beam structuring of YBa2Cu3O7 thin films

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Autoren

Titel in Übersetzung	Surface planarization and masked ion-beam structuring of YBa2Cu3O7 thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	7075-7080
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	518
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2010.07.021
Status	Veröffentlicht - 2010