Compositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Organisationseinheiten

Details

Titel in ÜbersetzungCompositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)6635-6641
FachzeitschriftThin solid films
StatusVeröffentlicht - 2009