Compositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N
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Details
Titel in Übersetzung | Compositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 6635-6641 |
Fachzeitschrift | Thin solid films |
Status | Veröffentlicht - 2009 |