Can micro-compression testing provide stress-strain data for thin films? A comparative study using Cu, VN, TiN and W coatings

Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

Autoren

Titel in Übersetzung	Can micro-compression testing provide stress-strain data for thin films?: A comparative study using Cu, VN, TiN and W coatings
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1517-1521
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	518
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.09.070
Status	Veröffentlicht - 2009