Structural and mechanical properties of diamond-like carbon films deposited by an anode layer source
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Details
| Titel in Übersetzung | Structural and mechanical properties of diamond-like carbon films deposited by an anode layer source |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 6502-6507 |
| Fachzeitschrift | Thin solid films |
| Jahrgang | 517 |
| Status | Veröffentlicht - 2009 |
