Journal of vacuum science & technology / A (JVST), ‎0734-2101

Fachzeitschrift: Zeitschrift

ISSNs0734-2101
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Publikationen

  1. 2017
  2. Veröffentlicht

    Chemical composition and properties of MoAl thin films deposited by sputtering from MoAl compound targets

    Lorenz, R., O'Sullivan, M., Sprenger, D., Lang, B. & Mitterer, C., 18 Mai 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 6 S., 041504.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  3. Veröffentlicht

    Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 4 Jan. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 2, 8 S., 021504.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  4. 2016
  5. Veröffentlicht

    Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN

    Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34.2016, 4, 8 S., 041517.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  6. Veröffentlicht

    Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

    Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P., 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  7. 2012
  8. Veröffentlicht

    Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

    Tritremmel, C., Daniel, R., Mitterer, C., Mayrhofer, P. H., Lechthaler, M. & Polcik, P., 2012, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 30, S. 061501-1-061501-6

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  9. 2011
  10. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., Juli 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 29, 4, 041506.

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  11. Veröffentlicht

    Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al2O3 coatings

    Edlmayr, V., Harzer, T. P., Hoffmann, R., Kiener, D., Scheu, C. & Mitterer, C., 2011, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 0415061-0415068

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  12. 2010
  13. Veröffentlicht

    Investigation on structure and properties of arc-evaporated HfAIN hard coatings

    Franz, R., Mitterer, C., Lechthaler, M. & Polzer, C., 2010, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). S. 528-535

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  14. 2009
  15. Veröffentlicht

    On the effect of Ta on improved oxidation resistance of Ti-Al-Ta-N coatings

    Pfeiler, M., Scheu, C., Hutter, H., Schnöller, J., Michotte, C., Mitterer, C. & Kathrein, M., 2009, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 27, S. 554-560

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

  16. 2008
  17. Veröffentlicht

    Oxidation and diffusion processes during annealing of AlCrVN hard coatings

    Franz, R., Neidhardt, J., Mitterer, C., Schaffer, B., Hutter, H., Kaindl, R., Sartory, B., Tessadri, R., Lechthaler, M. & Polcik, P., 2008, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). A26, S. 302-308

    Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)

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