Robert Franz

(Ehemalig)

Publikationen

  1. 2017
  2. Veröffentlicht

    Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

    Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 4 Jan. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 2, 8 S., 021504.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  3. Veröffentlicht

    Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power

    Saringer, C., Pajdarova, A. D., Baroch, P., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2017.

    Publikationen: KonferenzbeitragPosterForschung(peer-reviewed)

  4. 2016
  5. Veröffentlicht
  6. Veröffentlicht

    Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN

    Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34.2016, 4, 8 S., 041517.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  7. Veröffentlicht
  8. Veröffentlicht
  9. Veröffentlicht

    Energy consumption and material fluxes in hard coating deposition processes

    Gassner, M., Rebelo De Figueiredo, M., Schalk, N., Franz, R., Weiß, C., Rudigier, H., Holzschuh, H., Bürgin, W., Pohler, M., Czettl, C. & Mitterer, C., 2016, in: Surface & coatings technology. 299, S. 49-55 7 S.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  10. Veröffentlicht

    Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

    Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P., 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.

    Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

  11. Veröffentlicht
  12. Veröffentlicht