Robert Franz
(Ehemalig)
Publikationen
- 2017
- Veröffentlicht
Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A. & Mitterer, C., 4 Jan. 2017, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 35.2017, 2, 8 S., 021504.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power
Saringer, C., Pajdarova, A. D., Baroch, P., Zorn, K., Franz, R. & Mitterer, C., 2017.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › (peer-reviewed)
- 2016
- Veröffentlicht
Comparison of reactive magnetron sputter deposition of TiNx and TiOx as a function of the discharge power
Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 14 Sept. 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung
- Veröffentlicht
Effect of discharge power on target poisoning and coating properties in reactive magnetron sputter deposition of TiN
Saringer, C., Franz, R., Zorn, K. & Mitterer, C., 1 Juli 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). 34.2016, 4, 8 S., 041517.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Electro-Mechanical Behaviorof Single and Multilayer Metal Thin Films on Polymer Substrates
Jörg, T., Cordill, M., Franz, R., Kirchlechner, C., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung
- Veröffentlicht
Electro-Mechanical Response of Sputter-Deposited Mo Thin Films for Back Contacts in CIGS Flexible Solar Cells
Jörg, T., Cordill, M. J., Franz, R. & Mitterer, C., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung
- Veröffentlicht
Energy consumption and material fluxes in hard coating deposition processes
Gassner, M., Rebelo De Figueiredo, M., Schalk, N., Franz, R., Weiß, C., Rudigier, H., Holzschuh, H., Bürgin, W., Pohler, M., Czettl, C. & Mitterer, C., 2016, in: Surface & coatings technology. 299, S. 49-55 7 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres
Franz, R., Mendez Martin, F., Hawranek, G. & Polcik, P., 2016, in: Journal of vacuum science & technology / A (JVST). Vol. 34, No. 2, S. 1-8 8 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
High-temperature tribological investigations of CrAlN and CrAlSiN in ambient and inert atmospheres
Rebelo De Figueiredo, M., Xia, A., Kolozsvari, S. & Franz, R., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung
- Veröffentlicht
In-situ Methods to Study the Electro-Mechanical Properties of Mo Thin Films on Polymer Substrates
Jörg, T., Cordill, M., Franz, R., Glushko, O., Winkler, J. & Mitterer, C., 2016.Publikationen: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung