Comparison of reactive magnetron sputter deposition of TiNx and TiOx as a function of the discharge power
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Autoren
Organisationseinheiten
Details
| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Status | Veröffentlicht - 14 Sept. 2016 |
| Veranstaltung | 15th International Conference on Plasma Surface Engineering - Kongresshaus, Garmisch-Partenkirchen, Deutschland Dauer: 12 Sept. 2016 → 16 Sept. 2016 |
Konferenz
| Konferenz | 15th International Conference on Plasma Surface Engineering |
|---|---|
| Kurztitel | PSE 2016 |
| Land/Gebiet | Deutschland |
| Ort | Garmisch-Partenkirchen |
| Zeitraum | 12/09/16 → 16/09/16 |
