Comparison of reactive magnetron sputter deposition of TiNx and TiOx as a function of the discharge power

Publikationen: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung

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Aktivitäten

  1. 2016

  2. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering

    Christian Saringer (Teilnehmer/-in)

    11 Sept. 2016 → 16 Sept. 2016

    Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme

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