Influence of ionisation zone motion in high power impulse magnetron sputtering on angular ion flux and NbOx film growth

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Autoren

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	1-11
Seitenumfang	11
Fachzeitschrift	Plasma sources science & technology
Jahrgang	25
DOIs	https://doi.org/10.1088/0963-0252/25/1/015022
Status	Veröffentlicht - 2016