Plasma sources science & technology, 0963-0252
Fachzeitschrift: Zeitschrift
| ISSNs | 0963-0252 |
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1 - 5 von 5Seitengröße: 10
Publikationen
- 2020
- Veröffentlicht
Erosion and cathodic arc plasma of Nb–Al cathodes: composite versus intermetallic
Zöhrer, S., Golizadeh Najafabadi, M., Koutná, N., Holec, D., Anders, A. & Franz, R., 20 Feb. 2020, in: Plasma sources science & technology. 29.2020, 2, 14 S., 025022.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2018
- Veröffentlicht
Time-resolved ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas of Bn-Al cathodes in high vacuum
Zöhrer, S., Anders, A. & Franz, R., 2018, in: Plasma sources science & technology. S. 1-17Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2016
- Veröffentlicht
Influence of ionisation zone motion in high power impulse magnetron sputtering on angular ion flux and NbOx film growth
Franz, R., Clavero, C., Anders, A. & Kolbeck, J., 2016, in: Plasma sources science & technology. 25, S. 1-11 11 S.Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- 2014
- Veröffentlicht
Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons
Panjan, M., Franz, R. & Anders, A., 2014, in: Plasma sources science & technology. 23, S. 0250071-02500712Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
- Veröffentlicht
Observation of multiple charge states and high ion energies in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and burst HiPIMS using a LaB6 target
Franz, R., Clavero, C., Bolat, R., Mendelsberg, R. & Anders, A., 2014, in: Plasma sources science & technology. 23, S. 0350011-03500111Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
