Time-resolved ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas of Bn-Al cathodes in high vacuum

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

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  • Lawrence Berkeley National Laboratory

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OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1-17
FachzeitschriftPlasma sources science & technology
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2018