Time-resolved ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas of Bn-Al cathodes in high vacuum
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- Lawrence Berkeley National Laboratory
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Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 1-17 |
Fachzeitschrift | Plasma sources science & technology |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2018 |