Influence of Ar gas pressure on ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas from Nb-Al cathodes studied with high time resolution

Publikationen: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschung(peer-reviewed)

Autoren

Externe Organisationseinheiten

  • Lawrence Berkeley National Laboratory
  • Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung

Details

OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)0552011-05520114
FachzeitschriftJournal of physics / D, Applied physics
DOIs
StatusVeröffentlicht - 2018