Influence of Ar gas pressure on ion energy and charge state distributions in pulsed cathodic arc plasmas from Nb-Al cathodes studied with high time resolution
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
Autoren
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Externe Organisationseinheiten
- Lawrence Berkeley National Laboratory
- Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung
Details
Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 0552011-05520114 |
Fachzeitschrift | Journal of physics / D, Applied physics |
DOIs | |
Status | Veröffentlicht - 2018 |