Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons
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Details
| Titel in Übersetzung | Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 0250071-02500712 |
| Fachzeitschrift | Plasma sources science & technology |
| Jahrgang | 23 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2014 |
