Observation of multiple charge states and high ion energies in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and burst HiPIMS using a LaB6 target
Publikationen: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › (peer-reviewed)
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Details
| Titel in Übersetzung | Observation of multiple charge states and high ion energies in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and burst HiPIMS using a LaB6 target |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Seiten (von - bis) | 0350011-03500111 |
| Fachzeitschrift | Plasma sources science & technology |
| Jahrgang | 23 |
| DOIs | |
| Status | Veröffentlicht - 2014 |
